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(一)洁净宣/span>(Clean Room),亦称为无尘室或清净室、/span>
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性、/span>
洁净室最主要之作用在于控制产?/span>(如硅芯片筈/span>)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」、/span>
(事/span>)洁净室之等级
世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标凅/span>209为多,以下仅尰/span>209D叉/span>209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较、/span>
209E不/span>209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‴/span>M字头表示,如M1?/span>M1.5?/span>M2.5?/span>M3..依此行推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5(m之微尘粒子数目字?/span>10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则?/span>1.5?/span>2.5?/span>3.5.表示、/span>
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1(m微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1+/span>Class 2+/span>Class 3Class8表示,最好的等级丹/span>Class 1,最差则丹/span>Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化丹/span>10的幂次方,取其指数而得、/span>
(丈/span>)洁净室控管之项目
1.能除去空气中飘游之微尘粒子、/span>
2.能防止微尘粒子之产生、/span>
3.温度和湿度之控制、/span>
4.压力之调节、/span>
5.有害气体之排除、/span>
6.结构物与隔间之气密性、/span>
7.静电之防制、/span>
8.电磁干扰预防、/span>
9.安全因素之考虑、/span>
10.节能之考量、/span>
(囚/span>)洁净室之分类
1.乱流弎/span>(Turbulent Flow)9/span>
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等?/span>1,000-100,000级、/span>
优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级、/span>
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间、/span>
2.层流弎/span>(Laminar)9/span>
层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖玆/span>100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重、/span>
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定、/span>
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充、/span>
(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域、/span>
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响、/span>
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦、/span>
3.复合弎/span>(Mixed Type)9/span>
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气、/span>
(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA戕/span>ULPA过滤器将制程区域或工作区埞/span>100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质+/span>ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点9/span>A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行、/span>
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提臲/span>100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用、/span>
(3)并装局部洁净宣/span>(Clean Spot):将洁净室等?/span>10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类、/span>
洁净工作台:等级Class 1~100级、/span>
洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立乊/span>HEPA戕/span>ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级丹/span>10~1000级,高度?/span>2.5米左右,覆盖面积?/span>10M2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用、/span>
(亓/span>)洁净室气流之流动
洁净室的洁净度往往受到气流的影响,换言之,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配、/span>
洁净室系利用HEPA?/span>ULPA过滤空气,其尘埃的收集率辽/span>99.97~99.99995%之多,因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外,尚有机器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外、/span>
洁净室内的气流是左右净室性能的重要因素,一般洁净室的气流速度是选在0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以最适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果、/span>
另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,均一气流若无法保持,表示风速有异,特别是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难、/span>
垂直层流式方向要保持均一气流必须9/span>(a)吹出面的风速不可有速度上的差异:/span>(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过髗/span>(0.2m/s+/span>0.7m/s)均有涡流之现象发生,耋/span>0.5m/s之速度,气流则较均一,目前一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间、/span>
影响洁净室的气流因素很多,如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等,同时对于生产设备上方气流的分流点,亦应列入考虑因素、/span>
一般操作台或生产设备等表面的气流分流点,应设于洁净室空间与隔墙板间跜/span>2/3之处,如此可使作业人员工作时,气流可从制程区内部流向作业区,而将微尘带走;若分流点配置在制程区前方,将成为不当的气流分流,此时大部份的气流将流至制程区之后,作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面,工作台因而将受到污染,良率也势必降低、/span>
洁净室内的工作桌等障碍物,在相接处均会有涡流现象发生,相对地在其附近之洁净度将会较差,在工作桌面钻上回风孔,将歹使涡流现象减少最低;组装材料之选择是否恰当、设备怖局是否完善,亦为气流是否成为涡流现象之重要因素、/span>
(?/span>)洁净室之构成
结构材料9/span>
1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造、/span>
2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型、/span>
3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板、/span>
4.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁、/span>
产品包括9/span>
耐磨型环氧地坪、经济型环氧地坪、环氧自流平地坪、防静电环氧地坪、防腐型工业地坪、彩色密封固化地坪、金刚砂耐磨地坪、硬化渗透地坪、体育运动地坪、塑胶跑道、弹性消音地坪、彩砂地坪、透水地坪、彩色艺术地坪、旧地坪翻新、净化室、无尘车间、实验室、净化空调机组、工业冷水机组、恒温恒湿系统、中央空调、冷库、除尘设备、通风管道、工业机电设备、装饰装修工程、/span>
以下是我们公司其他产品信?/span>
DCHY-01 砂浆型环氧树脂地?/span>
DCHY-02平涂型环氧树脂地?/span>
DCHY-03自流平型环氧树脂地坪
DCHY-04水性环保型环氧树脂地坪
DCHY-05轻度防腐环氧地坪
DCHY-06重度防腐环氧地坪
DCHY-07普通型防静电环氧地?/span>
DCHY-08自流平型防静电环氧地?/span>
DCNM-01金刚砂耐磨地坪
DCNM-02无色耐磨密封固化地坪
DCNM-03彩色耐磨密封固化地坪
DCYS-01彩色透水艺术地坪
DCYS-02彩色压模艺术地坪
艺术地坪部分样板
以上是关亍b>山东省承接净化室、无尘车间、洁净室等空气净化工程,专业施工的详细介绍,产品田b>青岛德昌净化科技有限公司为您提供,如果您寸b>青岛德昌净化科技有限公司产品信息感兴趣可?a class="checkContactWay" href="">联系供应啅/a>,您也可以查看更多相关的产品?/p>
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