真空镀膜机多层光学真空镀膜机

� 叶�/span>

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

镀膜室尺寸

Ф1050��1250＋�/span>304不锈钢、�/span>

Ф800��1000

Ф900��1050

Ф1200��1250

镀膜腔内尺寷�/span>

工装夹具支架离地1680mm，适合人体工学的操作高度、�/span>

工装夹具支架离地1468mm，适合人体工学的操作高度、�/span>

工装夹具支架离地1510mm，适合人体工学的操作高度、�/span>

1.拱型单工件盘，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋�?-30r/min，无级变速、�br>
2.拱型三工件盘，行星公自转，更大限度满足客户对生产量的需要。旋�?-35r/min，无级变速、�/span>

工装夹具

供型四片装，支架倾角可调，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋�?-35r/min，无级变速、�/span>

拱型单工件盘，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋�?-35r/min，无级变速、�/span>

拱型单工件盘，更大限度满足客户对均匀性的需要。旋�?-35r/min，无级变速、�/span>

真空系统

机组：扩散泵KT-600(鼎益），罗茨泵ZJ-300，机械泵2X-70，维持泵2X-8。管路为304不锈钢、�/span>

机组：扩散泵KT-600（鼎�?,罗茨泵ZJ-600,机械�?X-70，维持泵2X-8、�/span>

机组：扩散泵KT-600（鼎益），罗茨泵ZJ-600,机械�?X-70，维持泵2X-8、�/span>

机组：扩散泵KT-800（鼎益），罗茨泵ZJ-600,机械�?X-70，维持泵2X-8、�/span>

极限真空：优�?��10^-4Pa、�/span>

配置防湍流装置，安全互锁设计，手动，自动可选、�/span>

加热系统

发热管上加热方式，PID控制，最�?50�?plusmn;1.5℃、�/span>

工作气体充气

气体质量流量控制仪器或手动微调充气阀、�/span>

真空电离轰击

直流3KV,06KW棒状阴极（用于镀膜前进行自行对工件清洗）、�/span>

蒸发源（选配（�/span>

1. TELEMARK-270��电子枪（进口），6KW、高�?KV-10KV可调。定位扫描、三角波扫描、圆形扫描、螺旋扫描。束斑聚焦性好、定位精度高，扫描再现性好、�br>
2.国产电子枪（奥普康）�?KW、高�? KV�?KV可调，可自由选择三角波、正弦波、方波扫描、�br>
3.坩埚：六�?Phi;38��20坩埚或四�?Phi;38��20加一穴中心弧�?7的弧形坩埚（用于耗量大低熔点蒸发材料）或四穴��48��18坩埚、�/span>

离子源（选配（�/span>

1. RF（射频型）离子源（进口）、�br>
2. 5KVA霍尔离子源（奥普康），用于电镀前清洗或电镀过程进行辅助镀，有利于提高膜层折射率，牢固度、提高膜层致密性、附着力、�/span>