登陆成功…?/p>
在很多纯气应用,诸如半导体工业中,气体中残余的湿气对于过程处理的正常运作重要。一直以来,对湿气的持续追踪测量都是个难点,需要用到复杂的湿度分析仪或者贵的分析技术。然耋strong>密析尓/strong>仪表目前则向市场推出了简单的、经济的、相当有效的方案,用来在线测量露点值,下限低至-120°C (相当于不 1 ppbV)、p style="margin-top:8px;">Pura 变送器是基于密析尔仪表多年在阻抗露炸strong>传感?/strong>生产和校验的经验,结合标准工业化的材料和制造流程,打造出的适用于半导体制造行业和纯气体应用的低位变送器、/p>亮点
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| 传感?/strong> | |
| 传感器类垊/td> | 密析尔陶瓷湿度传感器 |
| 量程 | -120 ~ -40°C 露点 (校验 -100 ~ -40°C) |
| 精度 | ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算? |
| 分辨玆/td> | 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C |
| 压力 | 10-9 torr; 24 MPa |
| 气体流量 | 1 ~ 5 Nl/min |
| 电气 | |
| 电源 | 通常 24 V DC, ?0 V ~ ?8 V , 大电 25 mA |
| 输出 | 4-20 mA 输出, 对应范围可由软件调整, 调整量程 1 ~ 80°C (标配提供) 大负 = 100 Ω + 50 Ω x (V 电源 -8) |
| 输出出错状?/td> | 标准输出出错信息如下: 23 mA = 传感器故際 20 mA = 上限; 4 mA = 下限 |
| 机械性能 | |
| 传感器套筑/td> | 不锈? 0.1-0.2 Ra μm 电镀内抛先/td> |
| 气路连接端口 | Premium OEM 垊 ?" m VCR 接口 Pura Sensor 垊 ?" m VCR 接口 |
| 安装配置 | Premium OEM 垊 120.00mm ? 气路端口的端面密? 不需要预留管路空隘br />底座上有 2 M4 x 0.7, 7mm 深的安装? 斜对面横竖间距均 20 x 20mm Pura Sensor 垊 适用于用户提供的 ?" VCR 端口?/td> |
| 尺寸 | Premium OEM 垊 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 垊 132 x 35mm |
| 重量 | Premium OEM 垊 450g Pura Sensor 垊 180g |
| 包装 | Pura: 双层包装, 惰性气体填充密?br />Pura OEM Pura Sensor 垊 单层包装 选配仵 独立包装运输 Sensor 型在传感芯片端自带保护套,用以运输及操佛/td> |
以上是关亍b>密析尔Pura高纯气露点变送器 / 在线露点?/b>的详细介绍,产品田b>无锡徽科特测控技术有限公号/b>为您提供,如果您寸b>无锡徽科特测控技术有限公号/b>产品信息感兴趣可?a class="checkContactWay" href="">联系供应啅/a>,您也可以查看更多相关的产品?/p>
陈传宎span>先生(销售工程师)
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